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首頁 產(chǎn)品中心 晶圓搬運(yùn)機(jī)器人 尼得科-三協(xié)大氣用半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
采用2ARM構(gòu)造增大了搬運(yùn)范圍
實(shí)現(xiàn)了晶圓的高速傳輸和雙片同取放
確保了超高的直線精度
ARM和Z軸的各種組合以滿足應(yīng)對各種裝置的需求
可同時適應(yīng)于2~8英寸包括12英寸的晶圓搬送
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