EFEM是半導(dǎo)體設(shè)備的前端模塊，是連接物料搬運系統(tǒng)和硅片處理系統(tǒng)的橋梁，確保晶圓能在高潔凈環(huán)境下傳輸?shù)焦に?、檢測模塊，是半導(dǎo)體設(shè)備的重要配件。EFEM模塊設(shè)備配備大氣晶圓搬運機器人，安裝在框架中，框架配備有FFU（風(fēng)扇過濾器單元）和安裝在前面的裝載端口。智贏提供的晶圓搬運機器人SR8220系列是EFEM模塊內(nèi)的關(guān)鍵部件。

智贏提供的大氣晶圓搬運機器人SR8220系列保證晶片的快速、穩(wěn)定搬運；滿足Class1的潔凈等級；可以實現(xiàn)不同品類Whole wafer、Frame wafer、Hoopring wafer的搬運。

另外智贏對于EFEM內(nèi)部結(jié)構(gòu)機器人還可以提供走行軸結(jié)構(gòu)、手臂翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)、伯努利輸運結(jié)構(gòu)滿足多種使用工況的要求。

本文作者·蔣江坤

   ■ 半導(dǎo)體行業(yè)高級應(yīng)用工程師

   ■ 從事智能裝備制造業(yè)12年，擁有豐富的直線電機和晶圓機器人行業(yè)應(yīng)用經(jīng)驗，可為客戶提供智能控制和運動部件整體解決方案。